精研一體機(jī)對(duì)樣品定點(diǎn)制備,離子束研磨樣品之前的機(jī)械預(yù)加工,帶有一系列工具和一體化顯微觀(guān)察系統(tǒng),可對(duì)樣品進(jìn)行精確的目標(biāo)定位,并對(duì)樣品進(jìn)行銑削、修快、切割、研磨、拋光及沖鉆等加工,并實(shí)時(shí)顯微觀(guān)察。
Leica EM TXP精研一體機(jī)同時(shí)具有切割、研磨、銑削、打孔、定位功能;不需轉(zhuǎn)移樣品,只需更換工具端以完成處理過(guò)程;能夠?qū)ξ⑿∧繕?biāo)區(qū)域進(jìn)行精確定位,定點(diǎn)樣品處理;還能通過(guò)立體顯微鏡實(shí)現(xiàn)原位觀(guān)察;可以實(shí)現(xiàn)高精度準(zhǔn)確制樣,簡(jiǎn)化制樣工序,縮短制樣時(shí)間,提高制樣的成功率。
主要技術(shù)參數(shù):
1. 可容納樣品尺寸:1.5mm×1.5mm至25mm×25mm;
2. 步進(jìn)控制精度:0.5μm、1μm、10μm、100μm;
3. 切削速度:0.03-0.5mm/sec;
4. 沖鉆直徑:3mm;
5. 觀(guān)察角度:-30°至60°;
6. 樣品微調(diào)角度:X、Y方向各±5°;
7. 自動(dòng)化處理過(guò)程;
8. 配立體顯微鏡對(duì)樣品進(jìn)行實(shí)時(shí)觀(guān)察,LED環(huán)形光源照明,可通過(guò)目鏡標(biāo)尺進(jìn)行距離測(cè)量。